实验名称：快速蒸铝

实验目的：1h内实现一次快速蒸铝

实验设备：GSL-1700X-SPC-2

工艺参数：5min加热至1100℃，550℃等待追温且恒温2分钟，玻璃罩出现银色金属膜时打开挡板蒸镀1分钟，蒸镀结束关闭挡板，停止程序，蒸镀前真空度为6.1*10-5Pa。

实验照片:

图1-1蒸镀中                  图1-2蒸镀后                   图1-3蒸镀后

      图2-1蒸镀前真空度                           图2-2蒸镀前                                图2-3蒸镀后

实验结果：

1、成功在玻璃基底上蒸镀铝膜；

2、铝膜极易氧化，蒸镀结束需要立刻停止程序，且降温全程保持分子泵运行；

3、取样时，用惰性气体代替空气向真空腔体内补压；

4、镀膜后的样品需要及时隔氧保护，以免发生氧化。

特别声明：

1. 以上所有实验仅为初步探究，仅供参考。由于我们水平有限，错误疏漏之处欢迎指出，我们非常期待您的建议。

2. 欢迎您提出其他实验思路，我们来验证。

3. 以上实验案例及数据只针对科晶设备，不具有普遍性。

4. 因为涉及保密问题，以上数据仅为部分数据，欢迎老师与我们联系，我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。