OTF-1100X-15-III

• 双层壳体结构，并带有风冷系统

• 采用氧化铝纤维作为炉膛材料

• 加热元件：SiC棒

• 设备中配有2个氧化铝管堵，以保证炉膛内部温度均匀性（炉体加热前，管堵必须塞入到炉管内部）

• 此管式炉可作为退火或扩散管式炉（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载）

• 电动开启式设计，使得用户操作更加简便

结构图氧化铝管堵晶片装载电动开启

• 总加热区长度1000mm

• 三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)

• 最高工作温度1100℃

• 最高加热速率：10℃/min

• 加热元件：SiC棒（36根）

控温精度为+/-0.5℃

• 15英寸高纯石英炉管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID.  x 1860mm L

• 注意：石英炉管易碎，操作需谨慎

• 一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可使炉管内真空度达到10^-3torr（采用机械泵抽真空）

• 左端法兰：安装有不锈钢针阀，Φ6.35的进气口

• 右端法兰：KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）

• 此管式炉需定期校准，以保证温度的准确性和均匀性，我们可提供简单的校准工具：

             ·1根1200mm的K型铠装热偶

             ·1个Omega温度校准仪表

             ·此型号管式炉只可选用机械泵，且最低真空度只能够抽到-0.05MPa，否则可能造成炉管损伤

             ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架

• 可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备

• 三相380V，50/60 Hz

• 20KW

• 2300L x 1500W x 1400 H mm

• 300kg

• 一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）

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 证书编号：M.2021.206.C67998