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悬浮提拉晶体生长炉
- 关键字：
- 提拉法
- 型号：
- SKJ-LCZ
- 产品概述：
- SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用悬浮熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2000℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，水冷铜坩埚（悬浮熔炼）和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染，可得到高纯度的金属（合金）单晶。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 视频
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安装操作视频 |
| 设备结构
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·40KW感应加热电源，用于悬浮熔炼
·特殊设计水冷铜坩埚，可熔炼60g样品 
·高真空腔体，真空度可达10-6torr(采用分子泵系统） ·精密可旋转（籽晶杆可旋转）提拉机构，提拉速度为0.1mm/h-24mm/h
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| 感应加热电源
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·最大功率：40KW ·频率 ：80-200KHz ·电流：10-100A ·电压: 380V +/-10% , 三相, 50/60Hz ·水冷却：水压 ≧0.2MPa 水流量: ≧10L/min
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| 水冷铜坩埚
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·坩埚尺寸: Φ35mm* 60mm ·熔炼量: 最大 60g ·需冷却水流量： 58L/min
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| 提拉机构
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·提拉速度: 0.1-24mm/h ·籽晶杆转速： 0.03-50r/min ·最大提拉行程: 250 mm ·可快速手动提拉 ·提拉杆内部有水冷却
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| 真空腔体&真空泵
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·采用SS304不锈钢腔体，带有水冷夹层 ·腔体尺寸: Φ400x 40 D mm ·石英窗口: Φ300mm ·真空度: 10-6 Torr （采用分子泵系统） ·真空泵: 分子泵体统，抽气速率700L/S
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| 循环水冷机
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·设备所需冷却水流量≧110L/min ·可在本公司选购循环水冷机
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