警示

• 注意：为了降低断管的概率，不建议在真空状态下加热，建议改为气氛保护的方式进行实验。

• MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)之间使用,否则将可能损坏加热元件。

• 炉管内气压不可高于0.02MPa。

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热炉管的冲击。

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

• 不要在刚玉管中使用石墨坩埚或石英坩埚。

• 样品是通过耐高温丝固定悬挂在法兰底部的悬挂钩上。（备注：我公司随设备标配的丝的最高使用温度为1200度，如果客户的使用温度为1200度以上，可以选购我公司专门的耐高温丝，详询我公司销售）。

•不得通入氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀气体。否则易损坏法兰，波纹管等不锈钢材质的配件。

•容易溅上水的地方不要使用。

•炉内温度变成常温后才能打开上盖，此时样品温度仍可能较高，请注意或带高温手套进行操作。

•当刚玉管达到1300℃及以上将不能抽真空。

真空计

▪ 可选用进口的防腐型数字式真空计进行真空度测量

真空系统

▪ 通过机械泵可达到10E-2 Torr.

▪ 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr.

供气系统

（可选）

▪ 科晶公司提供各种通道浮子、质子流量计可供选择，以实现气体流量的精确控制。

单通道浮子	单通道质子	两通道浮子	两通道质子	多通道浮子 （防腐）

减压阀

• 可选用本公司减压阀，以实现气体压力的精确控制。

• 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据