EQ-Slide-300 是一款真空自动滑行装置，连接外径80 mm炉管可在真空或气氛下移入和移出样品；

系统分为两种工作模式，一种为快速移动模式，可以实现样品的快速升温和快速降温；另一种为慢速移动模式，可以实现单晶和二维材料的生长。

·精密螺杆由直流电机通过真空密封可伸缩的波纹管以两种速度驱动：

 快速移动模式：300mm/min（恒速）

 慢速移动模式：0.5mm-30mm/min（可调）

·样品移动距离：1-300mm（可调）

·移动机构安装在移动工作台上，尺寸为600mmx600mmx600mm

·一套 KF25 真空接口和外径 80 mm 真空密封法兰，用于连接可伸缩波的纹管和带有KF25接口的炉管； 

·可根据客户要求，选配φ100，φ60，φ25等其它尺寸，具体详询我们销售人员

·真空度：10-5 torr

·波纹管中间安装一根带有隔热管堵的不锈钢棒，棒中插入一根50x50mm石英样品架，用于盛放CVD或退火的样品

·移动机构底部有一个高度可调的工作台，可以方便对齐

·可以在样品架下方放置一根 K 型热电偶，用于监测温度

移动炉架上，有个7英寸触摸屏面板和控制盒，可对所有移动参数进行编程和记录/显示样品的温度

该设备仅匹配合肥科晶管式炉，如下链接