如何选择管式炉

1、根据实验所需的最高温度选择合适温度区间的加热炉。

A.选择工作温度时请注意仪器所能保持的最高温度(< 1 小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)。如：

    科晶GSL-1700X                                      

    最高加热温度是 1700°C

 连续工作温度是 1600°C

如有不清楚的地方，请联系科晶销售

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B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:

  a.   250 ~ 1250°C   Fe-Cr-Al 或 Ni-Cr-Al 合金加热元件 或 红外灯管加热元件；

   采用 K 型热电偶。

例如： 科晶 KSL-1200X-S

采用电阻丝加热，K 型热电偶测温，最高加热温度 1200°C，长时间使用 1100°C。

  b.1300 ~ 1600°C 碳化硅加热元件/productsA_detail/productId=384.html 采用 S 型热电偶

 c.1600 ~ 1800°C MoSi2 加热元件（禁止长时间在 800°C 以下加热）

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   采用 B 型热电偶

2、根据样品大小选择合适的坩埚及再炉管管径，选择容积合适的加热炉。(不建议不用坩埚载料直接将样品放入炉管）

A.坩埚选择:

 石英坩埚:≤1200°C 使用石英管，热处理温度超过 600°C 时，请不要用氧化铝坩埚

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    氧化铝≤1800°C 使用刚玉管，热处理温度超过 900°C 时，请不要用莫来石坩埚

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 石 墨 坩 埚 ≤ 2300 °C

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例如：1、需要对粉末进行 900°C 热处理，选择石英坩埚装载样品。

        2、需要将合金在 1600°C 融化，选择氧化铝坩埚。

B.管径的选择:

选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）

a.石英管 ≤1200°C （真空环境下最高 1000 度）

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b.刚玉管 ≤1800°C （刚玉管不建议真空环境下使用）

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例如：

d.800°C≤SS310 管:≤1000°C(高压力/真空炉)

e.900°C≤超耐热不锈钢管:≤1000°C(高压力/真空炉)

！！！！多大的炉管放多大的坩埚及样品

3、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉，多温区较单 温区会设有多个热电偶，n 温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长，部分仪器尺寸变大。

管式炉的温区作用及如何选择？

 （1）恒温区的作用：

恒温区一般指加热炉内的某一段区间内各点温度基本一致，样品放置在这一区间内，样品各处受到的温度会基本一致。（中心区域温差小于+ / - 1°C）

 （2）恒温区不同带来的变化：

恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸，仪器整体会变长变大。

（3）恒温区选择举例

选择合适的恒温区，一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择

A、实验样品尺寸大于仪器恒温区，需要选择多温区来增加恒温区的长度，

B、根据实验要求需要多个温度梯度时，这就需要多温区来实现

例如：通过物理沉积方式在基片上生长二维材料，原料高温挥发后，利用载气向低温端移动，一定温度下在基片上生长。（相邻两个温区最大温差 300°C）

请注意加热炉加热区分为总加热区长度（加热源能覆盖的区域）和恒温区长度。恒温区总是小于总加热区。请选择一个恒温炉区尺寸超过您样品的加热炉。

4、根据功能选择加热炉:

①管式炉为基础加热系统，您可以根据不同的需求选择成套系统

如 CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和 2 维材料生长系统等。例如：生长石墨烯，所需要的 PECVD 系统

整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统

②立式管式炉：加热管垂直放置，以悬吊样品的方式，为样品提供淬火。

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③RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却

科晶 OTF-1200X-4-RTP

 最快 50°C/s 升温速度，红外灯管加热

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科晶 OTF-1200X-50-S

加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域， 可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开， 使样品所在区域暴露在空气中，快速冷却。

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④高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处处理。/products_listA1_1/pmcId=628.html

⑤旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末包覆的效果。/products_listA1_1/pmcId=1072.html

⑥特殊气体处理能力:氢气处理和高温腐蚀研究特殊模型是可用的

5、选择有相关认证的管式炉：

 合肥科晶所有炉子的电子元器件均采用 UL 认证器件。

合肥科晶保证加热炉可单台可通过认证（可能会产生部分认证费用，具体请咨询销售）

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6、选择合适的真空泵低真空系统

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  国产高真空系统（分子泵）

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进口高真空系统（分子泵）

/productsA_detail/productId=429.html

7、定制炉

后期补充。。。

8、如果您还有不明白的地方，请您联系我们

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