·2600℃高真空快速升温热压炉 RTP-M1

·6" 不锈钢管通过上下密封法兰实现真空密封，真空度可达2x10-2torr（机械泵），5x10-5torr（分子泵）;

·加热元件：石墨片作为加热元件，最高温度可达到 2600℃；

·两个加热元件之间的间隙可根据不同的样品厚度进行调整；

·上部配置的滑台与焊接波纹管可应用于热压样品 

·采用高精度红外测温仪测量温度

·电源：AC 220V 50/60HZ

·功率：19 KW

·最大输出电压和电流：20V,950A（AC）

·最大输入电流：87A

·最高加热温度：石墨片2600℃（≤60s）

·最快加热速率：≤200℃/s

·加热元件：石墨片，石墨加热坩埚

·使用不同法兰上盖时，请使用不同的石墨坩埚、石墨板及石墨加热器；

·加压法兰上盖使用石墨板，石墨板尺寸：1*51*171mm（带孔/不带孔）

·最大压力：500N

·为了防止样品腐蚀或损坏石墨加热器，可使用分体式石墨坩埚放置在加热片上，对样品进行加热和测试：（使用石墨坩埚时需将坩埚放在石墨板上结合使用）石墨坩埚尺寸：φ38*7mm（含盖）

·可视化法兰上盖使用石墨加热器（使用时无需放入上盖）尺寸：φ51*7*171mm

·根据客户加热样品尺寸和形态不同，还可以选配圆形或方形（含盖）的石墨加热片。

·腔体材质：不锈钢水冷腔体，腔体上带有水管接口，通过水管与设备侧面的分水器连接。腔体尺寸：φ360*300mm

·水冷腔体左侧有一个KF25接口，接口上安装了一个不锈钢三通，三通上有一个φ6.35mm的双卡套接头为出气口，一个不锈钢针阀控制出气的通断；一个KF接口为抽真空接口，通过挡板阀和波纹管与真空系统连接。

·腔体正前面有一φ60mm的石英观察窗口

·水冷腔体内部安装了一个石墨保温体，尺寸：φ304*268mm

·两根铜电极安装在保温体底部，两根石墨螺杆安装在铜电极上，石墨片安装在两根石墨螺杆中间，样品放置在两个石墨片之间。石墨片底部放置了氮化硼块。

·系统中配置了三套法兰，一套设备标准法兰，一套加压装置的法兰和一套可视化法兰（316L材质），法兰采用LF的方式与腔室连接

·三套法兰上均含有两个φ6.35mm的双卡套接头，两个进气口分别通过一个不锈钢针阀控制气体的通断，一个进气口通过气管与与设备背面的出气口连接，由设备侧面的微量调节阀控制进气的流量，另一个进气口通过气管与气瓶连接。

·法兰顶部含有两个水管接头，通过水管与水冷设备连接

·一个石英观察窗口用于红外测温仪探入到设备内部测量样品温度

·加压装置法兰顶部的KF40 的接口上安装了一根可伸缩波纹管，波纹管尺寸：KF40*170mm，压缩行程60mm，一个滑台安装在背面，滑台有效行程100mm，滑台移动，压缩波纹管的行程调节压力的大小。

·压机的上下移动由控制面板上的升降开关控制，升/降的切换有设备侧面的一档旋钮控制

·采用电动加压的方式对样品施加压力，最大压力：500N；

·有两种工作模式，手动加压和自动加压，自动加压带有恒压功能，恒压精度：±3N

·可设置恒定压力范围：10-500N

·可设置恒定压力时间：1-9999min

·可显示压力范围：1-500N

·可视化法兰顶部的中间位置安装了一个石英观察窗口，用于原位摄像系统进行实时观测；配套电脑软件，可以实时进行录像。

·标准物镜，原位观察放大倍数：24—200倍，工作距离：95mm

·0.4X辅助物镜，原位放到倍数：10—80倍，工作距离195mm

·调焦托架：调焦手轮松紧可调，可升降

·照明：LED环形光源

·相机：500 万像素索尼芯片高清相机

·不加热状态下和加热状态下，原位观察样品图片如下：

·使用红外测温仪检测温度，红外测温仪温度测量范围：400-2600℃

·测量精度：±0.5% FS

·重复精度：±0.3% FS或 ±1℃

·响应时间：≤5ms

·可测量最小目标：2mm

·控温方式：手动控温和程序控温（通过“手动/自动切换开关”切换）

·手动控温：通过左侧面板上的电流调节旋钮调节电流值，从而调节温度

·程序控温：安装了一个数显温度控制器，可设置30段升降温程序，控温精度为±1℃

·温度控制器的时间设置以秒为单位

·测量范围：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr）

·准确度：1000mbar—20 mbar（读数的30%）

     20—0.002mbar （读数的2%）

·重复性：20—0.002mbar （读数的2%）

·使用湿度：30℃环境下≤80%  40℃环境下≤50%无冷凝气体；

·使用温度：5℃—60℃

·型号：KJ-6300

·工作电压：AC 220V 50HZ

·工作电流：3.4-26.3A，

·制冷量：30708Btu/h

·压缩机功率：2.64KW，

·水箱容量：40L

·最大流量：75L/min，

·净重：113Kg

·型号：VRD-24

·抽气速率：6.6L/S

·电机功率：750 W

·极限压强：4×10-1Pa（不带负载）

·实际压强：≤2 Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟）

·如果想要获得更高的真空度（10-5toor or better）可选购国产或进口高真空机组

·热压炉：950mm（L）*670mm（W）*1950mm（H）

·约400KG

·一年保修，终身技术支持

·特别提示：

1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损失不在保修范围内。

·腔室内气压不可高于0.02MPa（相对气压）；

·由于气瓶内部气压较高，所以向腔室内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

·我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。

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