·工作电源AC 380V，三相，25KW

·感应射频0.2-20KHz

·最高熔炼温度2100℃

· 采用SS304不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度≤70℃，

· 腔体尺寸：φ500*700mmH

· 腔门上有一个80*300mm的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况；

· 腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa的机械压力表用于观察腔室内压力情况

· 一个φ6.35双卡套接头做为出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断

· 一个电磁阀可自动控制进气

· 安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压，确保腔体的安全

· 直流力矩电机驱动

·提拉速度：0.01-30mm/h

· 籽晶杆旋转速度：0.1-60 rpm

·最大提拉行程：400mm

·位移精度：0.01mm

· 设备标配一套上称重系统，可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。

· 秤量程：5.2 KG

· 秤精度：0.01g

整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的labview软件进行控制，可以实现以下功能：

· 生长斜率及控制参数设定；

· 控制晶升，动态可调

· 控制晶转，可设定多段速自动执行

· 检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制

· 腔体真空压力检测

· 报警监测，晶升晶转中频气压及称量程等上限报警

· 实时数据曲线，晶体生长图例模拟

· 数据记录，自动存储运行数据

· 工作电流：2.1-12.9A

· 制冷量：49474Btu/h

· 最大流量：117L/min

· 水箱容量：75L

机械泵技术参数：

· 型号：VRD-48

· 抽气口接口尺寸：KF40

· 抽气速率：（48m³/h）13.3L/S  

· 电机功率：1500 W  

· 极限压强4×10^-2 Pa

分子泵技术参数：

· 抽气速率：700L/s

· 极限压强：6×10-6 Pa

· 启动时间：≤9min

· 额定转速：36000rpm/min

· 冷却方式：水冷

· 抽气口接口尺寸：CF160

• 可选铱坩埚及相应的保温材料组件

 此单晶炉最大可生长晶体尺寸为≤φ2英寸*80mm

• 炉体：880mm(L) x 1250mm(W) x 2640mm(H)

• 控制柜：600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)

• 中频柜：965(L) x 812mm(W) x 1219mm(H)

• 一年保质期，终生维护（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件）

2200kg

• 本公司多种单晶均由此单晶炉生长，如蓝宝石, LaAlO3, LAST, SrLaAlO3, LiAlO3等

• 可点击下图查看用此单晶炉生长Ge单晶的实物图片

 原料熔化                   下籽晶                  籽晶提拉

蓝宝石                     Ni单晶

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。